Die Lasertiefgravur oder Lasertiefengravur wird zum Beispiel bei der Herstellung von Stempeln oder Prägewerkzeugen angewendet. Je nach Material wird eine flüssige und/oder gasförmige Phase ausgetragen. Bei kurzen intensiven Pulsen wird das Material fast ohne Wärmeeinflusszone oder Schmelze ausgetragen. Oft wird die Tiefe in mehreren Arbeitsgängen erreicht.